基本信息：

 三氯氫硅 純度：99.95%

 中文名：三氯氫硅（純度：99.95%）

 中文同義詞 ：硅氯仿、硅仿、三氯硅烷

 英文名：Trichlorosilane、Silicochloroform

 化學式：SiHCl3，為一種易流動的無色液體

 分子量：135.43

物理性質：

液體用玻璃瓶或金屬桶盛裝，容器要存放在室外陰涼干燥通風良好之處或在易燃液體專用庫內，要與氧化劑、堿類、酸類隔開，遠離火種、熱源，避光，庫溫不宜超過25℃?？捎冒彼铰?。

火災時可用二氧化碳、干石粉、干砂，禁止用水及泡沫。廢氣可用水或堿液吸收。

三氯硅烷有水分時腐蝕性極強?？捎描F、鎳、銅鎳合金、鎳鋼、低合金鋼，不能用鋁、鋁合金。

可以用聚四氟乙烯、聚三氟氯乙烯聚合體、氟橡膠、聚氯乙烯、聚乙烯、玻璃等。

急救措施

?

小鼠-吸入LC50：1.5～2mg/L

最高容許濃度：3mg/m3

皮膚接觸：立即脫去被污染的衣著，用流動清水徹底沖洗至少15分鐘，就醫。眼睛接觸：立即提起眼瞼，用流動清水或生理鹽水徹底沖洗至少15分鐘，就醫。

吸 入：迅速脫離現場至空氣新鮮處。保持呼吸道暢通，如呼吸困難，給輸氧。如呼吸停止，立即進行人工呼吸，就醫。

食 入：誤服者用清水漱口，給飲牛奶或蛋清，就醫。

防火防爆

在三氯氫硅生產的各個工序中，為防止火災、中毒，要嚴格執行各項消防安全制度，嚴格控制工藝指標，嚴格操作規程。加強對設備管道的維護保養，嚴防跑、冒、滴、漏。具體預防措施如下：

⒈火源管理。在生產中進行檢修時使用的工具應該是不產生火花的工具，嚴禁用鐵器敲打設備或管道，工作人員應穿棉制品工作服。生產和貯罐區禁止明火，生產中動火要嚴格執行有關安全管理制度。

⒉防止跑、冒、滴、漏。生產過程中產生的大都是易燃易爆有毒物質，生產設備、工藝管道和貯罐如果發生泄漏極易釀成火災、爆炸和中毒事故。因此，日常工作中要做好安全檢查，不留死角，設備要定期檢修，發現問題及時采取補救措施，修復存在跑、冒、滴、漏的部位。

⒊配置應急工具和消防設施。應該配備一定數量的防毒面具、自給式空氣呼吸器、手套、堵漏工具。應急隊的人員要經常進行演練，熟練掌握各種情況下的堵漏方法和處置措施。貯罐區常備干砂的量最好不少于一個貯罐的容積，廠內倉庫存放一定的水泥作應急之用。配備一定數量的手提式二氧化碳和干粉滅火器。

⒋生產工藝中的防火防泄漏措施。

⑴三氯氫硅的合成、除塵和精餾工段。HCl氣體緩沖罐與合成爐之間應設止回閥，防止合成爐的SiHCl3回到緩沖罐。應控制HCl氣體的流量，控制合成爐內的溫度。對設備管道要經常進行維護保養，防止三氯氫硅泄漏。在生產中要保持整個系統的密閉，用99．99%的氮氣進行保護。

⑵三氯氫硅的儲存。三氯氫硅的沸點較低，需在低溫下儲存，三氯氫硅的貯罐設置低溫保護裝置和降溫措施。由于三氯氫硅有潛在的燃燒爆炸危險，所以它的貯罐應與生產裝置要有一定的防火間距，并且要設防火堤，降溫水的排放管道經過防火堤處要設閘閥。貯罐應設靜電接地裝置和避雷裝置。貯罐內的氣相要與氮氣系統相連進行保護，貯罐的氣相與外部連通的平衡管（放空管）應與尾氣回收系統相連，不能直接排空，并應設止回閥和阻火器。貯罐區應設一個備用罐，緊急情況下應將泄漏的貯罐內的物料轉移至備用罐，防止大量泄漏。

泄漏處理

生產和儲存中如果發生三氯氫硅泄漏，應根據泄漏量的大小劃出一定的警戒范圍，禁止無關人員和車輛進入警戒區，切斷警戒區內的所有火源，迅速撤離泄漏污染區內的人員至安全地帶。如果是貯罐發生泄漏，又不能及時排除泄漏，就應該將發生泄漏的貯罐內的三氯氫硅用氮氣壓入備用罐內。如果是生產中的設備和管道發生泄漏，應立即停止生產，并迅速關閉有關閥門切斷物料輸送。泄漏地帶有水源時，應用干砂土圍成隔離帶，將泄漏的三氯氫硅與水隔離開來。搶險人員進入危險區域時應佩戴自給式呼吸器或防毒面具。應先查明泄漏部位的泄漏狀況。由于貯存三氯氫硅的容器為常壓容器，應針對不同的泄漏部位采取不同的堵漏措施，切斷泄漏源，用砂土、水泥吸收殘留液。