基本信息：

 三氟化氮 純度：99.999%

 中文名：三氟化氮

 英文名：nitrogen trifluoride

 CAS 注冊號：7783-54-2

 分子式：NF3

 分子量：71.0019

 主要成分：純品

 外觀與性狀：無色、帶霉味的氣體

 溶解性：不溶于水

 主要用途：用作高能燃料

 廢棄處置方法：根據國家和地方有關法規的要求處置?；蚺c廠商或制造商聯系，確定處置方法

物理性質：

化學性質：

穩定性

化學性質穩定，一般條件下在水與堿溶液中均不反應（三校合編無機化學第四版下冊534頁），只有當放電時在水中才發生NF3+2H2O==放電==HNO2+3HF。F的電負性大于H，因此NF3中的孤對電子云由于向F偏移而導致電子云密度比在NH3中低，配位能力下降，因此質子化時放熱小于NH3。偶極矩與上面類似，大概就是由于電負性的增強導致偶極矩的降低。

禁配物：還原劑、易燃或可燃物。

急性毒性

LD50

LC50：19000mg/m3，1小時(大鼠吸入)；5600mg/m3，4小時(小鼠吸入)

三氟化氮主要用途是用作氟化氫－氟化氣高能化學激光器的氟源，在h2-O2 與F2之間反應能的有效部分（約25%）可以以激光輻射釋放出，所 HF-OF激光器是化學激光器中最有希望的激光器。

三氟化氮是微電子工業中一種優良的等離子蝕刻氣體，對硅和氮化硅蝕刻，采用三氟化氮比四氟化碳和四氟化碳與氧氣的混合氣體有更高的蝕刻速率和選擇性，而且對表面無污染，尤其是在厚度小于1.5um的集成電路材料的蝕刻中，三氟化氮具有非常優異的蝕刻速率和選擇性，在被蝕刻物表面不留任何殘留物，同時也是非常良好的清洗劑。

隨著納米技術的發展和電子工業大規模的發展技術，它的需求量將日益增加。

運輸注意事項：

鐵路運輸時須報鐵路局進行試運，試運期為兩年。試運結束后，寫出試運報告，報鐵道部正式公布運輸條件。

采用剛瓶運輸時必須戴好鋼瓶上的安全帽。

鋼瓶一般平放，并應將瓶口朝同一方向，不可交叉；高度不得超過車輛的防護欄板，并用三角木墊卡牢，防止滾動。

嚴禁與易燃物或可燃物、還原劑、食用化學品等混裝混運。

夏季應早晚運輸，防止日光曝曬。

公路運輸時要按規定路線行駛，禁止在居民區和人口稠密區停留。

鐵路運輸時要禁止溜放。

儲存注意事項：

儲存于陰涼、通風的庫房。

遠離火種、熱源。

庫溫不宜超過30℃。

應與易（可）燃物、還原劑、食用化學品分開存放，切忌混儲。

儲區應備有泄漏應急處理設備。

操作注意事項

嚴加密閉，提供充分的局部排風和全面通風。操作人員必須經過專門培訓，嚴格遵守操作規程。建議操作人員佩戴自吸過濾式防毒面具（半面罩），戴化學安全防護眼鏡，穿防毒物滲透工作服，戴橡膠手套。遠離火種、熱源，工作場所嚴禁吸煙。遠離易燃、可燃物。防止氣體泄漏到工作場所空氣中。避免與還原劑接觸。搬運時戴好鋼瓶安全帽和防震橡皮圈，防止鋼瓶碰撞、損壞。配備相應品種和數量的消防器材及泄漏應急處理設備。

職業接觸限值

中國MAC(mg/m3)： 1

前蘇聯MAC(mg/m3)： 未制定標準

TLVTN： ACGIH 10ppm,29mg【F】/m3

TLVWN： 未制定標準

工程控制： 嚴加密閉，提供充分的局部排風和全面通風。

呼吸系統防護： 空氣中濃度較高時，應該佩戴自吸過濾式防毒面具（半面罩）。

眼睛防護： 戴化學安全防護眼鏡。

身體防護： 穿防毒物滲透工作服。

手防護： 戴橡膠手套。

其他防護： 工作現場嚴禁吸煙。保持良好的衛生習慣。

工作時必須要保護皮膚。氣瓶要遠離火種、熱源、應與有機物、可燃物、油脂、還原劑及氫分開存放。

NF3為腐蝕性氣體，在<200℃時可用不銹鋼、銅、蒙乃爾。在更高的溫度可用鎳和蒙乃爾?？梢杂镁鬯姆蚁?、三氟氯乙烯樹脂和聚三氟氯乙烯聚合體。滅火可用霧狀水和泡沫。泄漏的氣體可用排風機排送至通風櫥內。廢氣或廢液要用還原劑(酸式亞硫酸鈉、亞鐵鹽等)溶液處理后，用堿灰或稀鹽酸中和，再用大量水稀釋后排入下水道。< p="">

皮膚接觸

脫去污染的衣著，用流動清水沖洗。若有灼傷，就醫治療。

眼睛接觸

立即翻開上下眼瞼，用流動清水沖洗15分鐘。就醫。

吸入

迅速脫離現場至空氣新鮮處。保持呼吸道通暢，呼吸困難時給輸氧。呼吸停止時，立即進行人工呼吸。就醫。

泄漏處理應急處理

迅速撤離泄漏污染區人員至上風處，并進行隔離，嚴格限制出入。切斷火源。建議應急處理人員戴自給正壓式呼吸器，穿防毒服。盡可能切斷泄漏源。合理通風，加速擴散。漏氣容器要妥善處理，修復、檢驗后再用。